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最後の壁ミクロン単位の汚れをどう排除するかのノウハウ!!

精密洗浄技術マニアル


   
A4判・くるみ製本・310頁
定価53,100円(〒共・消費税込)

編著 辻 薦(技術士・化学農学博士)


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脱フロン時代の洗浄技術を追加!
精密機械部品・電子部品・計測機器・電気機器・半導体・光学ガラス等の信頼性向上に!


本書の特長

  1. どのやり方で洗うのがいいか!
    信頼性向上のために適切な洗浄方式を選択する必要があります。その具体的指標となります。
  2. 物理面からも化学面からもわかります!
    精密洗浄における洗浄力要素とその問題点を物理,化学両面からわかりやすく解説して あります。
  3. 洗浄システムをどうすればいいか!
    洗浄システムの評価と問題点がすぐわかり,解決策が具体的な事例で示されています。
  4. 現場をどう管理するか!
    精度とコストをにらみながら,現場管理をすすめる手順が示されています。
  5. 洗浄機器メーカ,工業用洗浄剤メーカ一覧付き


内容目次


I. 洗浄力要素

1. 洗浄力要素

2. 溶解力,分散力

2.1.1 水の物理化学的特性
2.1.2 水の洗浄特性
 洗浄力としての水の利用
 洗浄力としての水の欠点
2.1.3 硬度成分と純水
2.1.4 超純水
 超純水とは
 超純水の製造システム
 超純水の水質
2.2 溶剤
2.1.1 溶剤の種類
2.2.2 洗浄用溶剤の評価
 溶解特性
 経済性
 洗浄操作に関係する物理特性
 安全性
 安定性
 衛生性
 純度
2.2.3 主な規油性溶剤
 炭化水素系
 塩素化または塩素化フッ素化炭化水素
2.2.4 主な親水性溶剤
 アルコール類
 ケトン類
2.2.5 溶剤の循環使用方式
 4過,吸着などによる不完全循環方式
 蒸留再生による完全循環方式
2.2.6 溶剤蒸気洗浄
 構造と原理
 洗浄力と問題点
 管理上の注意点
 各種蒸気洗浄装置
2.3 混合溶剤
2.3.1 相溶式混合溶剤
2.3.2 乳化式混合溶剤
2.3.3 可溶化式混合溶剤

3. 海面活性力

3.1 界面活性剤の物理的構造
3.2 水中での溶存状態
3.3 活性剤の洗浄力
 界面吸着
 ミセルの形成
 表面(界面)張力の低下力
 湿潤力,浸透力
 乳化力
 懸濁力
 起泡力
 可溶化力
 殺菌力
3.4 活性剤の種類
3.4.1 陰イオン(アニン)活性剤
 石けん類
 合成陰イオン系洗浄剤類
3.4.2 陽イオン(カチオン)活性剤
3.4.3 非イオン(ノニオン)活性剤
3.4.4 両性(アンフィビアス)活性剤
3.5 助剤
 アルカリの強化
 活性コロイドの形成
 界面活性力の増強
 金属イオンの封鎖
3.6 活性剤の用法
3.6.1 活性剤を主とする洗浄
3.6.2 活性力を従とする洗浄
3.6.3 活性剤による洗浄の問題点
3.7 処方例

4.化学反応力

4.1 酸類
4.1.1 主な酸類とその特性
 硫酸 H2SO4
 塩酸 HCl
 硝酸 HNO3
 リン酸 H3PO4
 フッ酸 HF
 クロム酸 H2CrO4
 スルファミン酸 NH2HSO4
 及びシュウ酸 (COOH)2
 その他有機酸
4.1.2 酸の洗浄力とその応用
4.2 アルカリ類
4.2.1 主なアルカリ類とその特性
4.2.2 アルカリの洗浄力とその応用
4.2.3 アルカリ洗浄の問題点
4.3 酸化剤,還元剤
4.3.1 酸化剤の種類と用法
4.3.2 還元剤と用法
4.4 金属イオン封鎖剤
4.4.1 無機金属イオン封鎖剤
4.4.2 有機金属イオン封鎖剤

5. 吸着力

5.1 吸着剤の特性
 汚れと親和力
 広い吸着面積
5.2 吸着剤の種類と用法
 繊維状吸着剤
 微粉状吸着剤
 多孔性吸着剤

6. 物理力

6.1 熱
6.1.1 他の洗浄力要素の効果の促進
6.1.2 汚れの物性変化
6.1.3 洗浄体の物性変化
6.1.4 汚れの熱分解
6.2 界面流動
6.2.1 攪拌
6.2.2 流速
6.3 圧力
6.3.1 噴射洗浄
 噴射洗浄力の特質
 噴射洗浄の形態と応用
6.3.2 その他の圧力の利用
6.4 摩擦力
6.5 研磨力
6.6 超音波力
6.6.1 超音波洗浄とその洗浄力
6.6.2 キャピテーション効果
6.6.3 洗浄媒液
6.6.4 超音波洗浄の問題点
6.7 電解力
6.7.1 電解脱脂
6.7.2 電解酸洗い
6.7.3 電解研磨
6.8 紫外線力
6.8.1 UV・O3併用洗浄力
6.8.2 UV・O3併用洗浄法の利用
6.9 プラズマ力
6.9.1 プラズマの洗浄力
6.9.2 プラズマ洗浄法の利用
6.9.3 イオン・エッチング

7. 生物的分解力

7.1 酸素の種類と特性
7.2 酸素の用法

II. 洗浄システム

8. 洗浄システム

8.1 洗浄システム
8.2 目標清浄度
8.3 洗浄システムの評価
 経済性
 簡便性・省力性
 洗浄体を損傷しないこと
 信頼性
 作業環境の維持
 一般環境の維持

9. 洗浄系

9.1 洗浄媒体
9.1.1 湿式洗浄
9.1.2 乾式洗浄
9.2 汚れ
9.2.1 汚れの分類
 形状による分類
 化学的組成による分類
 親水性・親油性による分類
 結合状態による分類
9.2.2 複合汚れ
9.2.3 一括洗浄と分括洗浄
 一括洗浄
 分括洗浄
 事例
9.2.4 洗浄における汚れの動態
9.3 洗浄体
9.3.1 組成の均一性
9.3.2 物理的・化学的特性
 物理的強度
 耐熱性
 耐薬品性
 耐溶剤性
 酸化性
9.3.3 表面の親水性と疎水性

10. 浸漬洗浄システム

 洗液の洗浄力
 攪拌などによる界面流動
 作用時間
 洗液量
 洗液の鮮度
 温度
10.1 回分式浸漬洗浄
 遠心力で液をふり切る方法
 液膜を吹き飛ばす方法
 洗液の温度をあげる方法
 トレイなどの表面積を小さくする方法
10.2 多段回分式洗浄方式
 多段回分式洗浄
 向流多段回分式洗浄
 すすぎ法
10.3 洗浄体の自動搬送方式
 ターンテーブル式搬送装置
 メリーゴーラウンド式搬送装置
 トロリー式搬送装置
 回転アーム式搬送装置
 クロスロッド・チェインタクト式搬送装置
 シリンダータクト式搬送装置
 ロボット式自動搬送装置
10.4 乾燥法
10.4.1 水膜の乾燥法
 N2ガス吹き付け法
 洗浄体加熱法
 熱風乾燥法
 遠心力併用乾燥法
10.4.2 溶剤の直接乾燥および置換乾燥法
 溶剤による直接乾燥法
 溶剤との共沸点を利用した脱水乾燥法
 親水性溶剤による置換乾燥法
 フロン・界面活性剤混合溶剤による置換乾燥法
 フロン・エタノール混合溶剤による置換乾燥法
10.5 媒液相の転換
 転換方法
 相の転換における汚れの転移

11. 洗浄システム事例

11.1 金属類
11.1.1 鉄鋼
 鉄鋼の物性
 鉄鋼の洗浄
11.1.2 ステンレス綱
 ステンレス綱の物性
 ステンレス綱の洗浄
11.1.3 アルミニウムとその合金
 アルミニウムの物性
 アルミニウムおよびその合金の洗浄
11.2 シリコン
11.2.1 シリコンの物性
11.2.2 シリコンウエハーの洗浄システム
 自動化
 乾式洗浄
11.3 ガラス類
11.3.1 ガラス類の物性
11.3.2 ガラス類の洗浄特性
 研磨工程
 水洗
 界面活性剤水溶液による洗浄
 アルカリ水溶液による洗浄
 酸水溶液による洗浄
 摩擦・拭取りによる洗浄
 吸着力を利用した洗浄
 高圧噴射による洗浄
 紫外線・オゾン併用による洗浄
 加熱酸化による洗浄
 プラズマ洗浄およびイオンビーム洗浄
11.3.3 ガラス類の洗浄システム
 光学ガラス
 液晶ガラス
 フォトマスクガラス
11.4 プリント基板
11.5 プラスチック類
11.5.1 プラスチックの一般特性と汚れ
11.5.2 プラスチック類の洗浄とシステム

III. 洗浄管理編

12. 工程管理


13. 洗浄用資材,機器の清浄化

13.1 資材の清浄化
13.2 機器の清浄化と適性

14. 清浄空間−クリーン・ルーム

14.1 クリーン・ルームの概念
14.2 クリーン・ルームの構成
14.2.1 建屋
14.2.2 清浄空気と換気
14.2.3 出入口の管理設備
14.3 クリーン・ベンチ,クリーン・トンネル
14.3.1 クリーン・ベンチ
14.3.2 クリーン・トンネル
14.4 クリーン・ルームの管理

15. 清浄度に関する計測法

15.1 流体中の汚れの計測
15.1.1 空気中の各種汚れの計測法
15.1.2 水中の各種汚れの計測法
15.1.3 溶剤,薬液中の各種汚れの計測
15.2 表面にある微粒子状汚れの計測
15.3 表面汚染汚れの計測
15.3.1 精密分析機器による計測法
15.3.2 一般機器による計測法
 (1)表面電位による測定法
 (2)摩擦係数による測定法
 (3),真空蒸着生成膜による判定
15.3.3 トレーサーによる計測法
 (1)アイソトープ法
 (2)蛍光染料法
15.3.4 簡易な現場的判定法
15.3.5 接触角法

16. 洗液の活性度の計測

16.1 界面活性剤水溶液
16.2 アルカリ類水溶液
16.3 酸類水溶液
16.4 溶剤類

17. 環境保全

17.1 作業環境の保全
17.2 一般生活環境の保全
17.2.1 大気汚染の防止
17.2.2 水質汚濁防止

脱フロン化時代の脱脂洗浄法

洗浄機器メーカ一覧

工業用洗浄剤メーカ一覧



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